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期刊论文
减薄划片过程中ESD的预防与控制
减薄划片过程中ESD的预防与控制
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hardy_0205
【摘 要】
:
SED在IC封装过程中对IC产品质量的影响越来越大。以生产过程中遇到的一些实际问题为例.分析探讨了ESD在封装生产过程对产品造成的影响,成因以及ESD的预防与控制方法。
【作 者】
:
王义贤
【机 构】
:
浙江华越芯装电子股份有限公司
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2008年8期
【关键词】
:
静电放电(ESD)
栅极氧化层
离子风
减薄
贴膜
揭膜
绷膜
划片
ESD
Gate oxide layer
Ion wind
Wafer grind
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SED在IC封装过程中对IC产品质量的影响越来越大。以生产过程中遇到的一些实际问题为例.分析探讨了ESD在封装生产过程对产品造成的影响,成因以及ESD的预防与控制方法。
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