光学膜层激光损伤阈值均匀性的实验研究

来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : 0次 | 上传用户:f023144553b
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镀制了多种氧化物介质薄膜.用R-on-1方法测定了膜层的激光损伤阈值.引入数据处理方法,对测试数据进行分析.结果表明,基片清洗后,若放置一段时间再镀膜,则会影响到镀膜后膜膜层损伤阈值的均匀性,但对损伤阈值自身大小没有影响.测试激光参数对阈值均匀性也有一定的影响.
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