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光学膜层激光损伤阈值均匀性的实验研究
光学膜层激光损伤阈值均匀性的实验研究
来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : 0次 | 上传用户:f023144553b
【摘 要】
:
镀制了多种氧化物介质薄膜.用R-on-1方法测定了膜层的激光损伤阈值.引入数据处理方法,对测试数据进行分析.结果表明,基片清洗后,若放置一段时间再镀膜,则会影响到镀膜后膜膜
【作 者】
:
刘强
林理彬
甘荣兵
唐方元
扎西次仁
【机 构】
:
四川大学物理系,四川大学物理系
【出 处】
:
强激光与粒子束
【发表日期】
:
2003年11期
【关键词】
:
氧化物介质
镀膜
损伤阈值
阈值均匀性
Cleaning procedureFilmsDamage thresholdThreshold uniformity.
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镀制了多种氧化物介质薄膜.用R-on-1方法测定了膜层的激光损伤阈值.引入数据处理方法,对测试数据进行分析.结果表明,基片清洗后,若放置一段时间再镀膜,则会影响到镀膜后膜膜层损伤阈值的均匀性,但对损伤阈值自身大小没有影响.测试激光参数对阈值均匀性也有一定的影响.
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