【摘 要】
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研究FinFET器件在极低温下DC和RF特性。在低温测试台中,5组不同温度(77 K,120 K,200 K,250 K,300 K)下,将4对体硅FinFET器件进行在片测试。对测试得到的射频参数进行open-sho
【机 构】
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杭州电子科技大学射频电路与系统教育部重点实验室
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研究FinFET器件在极低温下DC和RF特性。在低温测试台中,5组不同温度(77 K,120 K,200 K,250 K,300 K)下,将4对体硅FinFET器件进行在片测试。对测试得到的射频参数进行open-short去嵌处理,对处理后的数据进行对比分析。和器件工作在室温(300 K)相比,器件工作在77 K下,阈值电压升高了近75 mV,亚阈值斜率降低了50%,截止频率和最大振荡频率都提升了20%。
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