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本文用化学气相沉积法制备了ＺｎＳ薄膜和块材料，观察了ＺｎＳ在具有不同表面粗糙度的石墨和石英基体上的成核和长大行为；研究了沉积温度、Ｈ２Ｓ和Ｚｎ蒸汽流量对ＺｎＳ生长速率和影响规律。
化学气相沉积法ZnS块材料的生长
【摘 要】
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本文用化学气相沉积法制备了ＺｎＳ薄膜和块材料，观察了ＺｎＳ在具有不同表面粗糙度的石墨和石英基体上的成核和长大行为；研究了沉积温度、Ｈ２Ｓ和Ｚｎ蒸汽流量对ＺｎＳ生长速率和影响规律。
【机 构】
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西安交通大学材料科学与工程学院
【出 处】
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无机材料学报
【发表日期】
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1997年3期
【基金项目】
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国防科技预研基金!94J12．1．6HK0341
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