磁控溅射离子镀膜组织与相结构的电镜研究

来源 :大连工学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zlp0234
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本文主要应用JEM-100CXⅡ型透射电镜研究了在C-u基材上磁控溅射离子镀Al及CrNi不锈钢时的沉积层组织与相结构。研究发现; 在一系列沉积工艺条件下,Cu基镀 CrNi不锈钢时,其涂层结构只含一种 Fe基 α相;镀 Al时,随基板偏压升高,可获得一系列新合金相,如;Al,AlCu,Al-2Cu-3,Al-4Cu-9,AlCu-3,AlCu-4,aCu等。这些结果将为进一步探索这类涂层的形成机理提供必要的理论与实验根据。 In this paper, the microstructure and phase structure of the deposited layer of magnetron sputtering ion-plating Al and CrNi stainless steel on C-u substrate were mainly studied by using JEM-100CX Ⅱ TEM. The results show that under a series of deposition process conditions, the coating structure of CrNi stainless steel with Cu-based plating contains only one kind of Fe-based α-phase; when Al is added, a series of new alloy phases can be obtained as the substrate bias increases, Such as Al, AlCu, Al-2Cu-3, Al-4Cu-9, AlCu-3, AlCu-4, aCu and the like. These results will provide the necessary theoretical and experimental basis for further exploration of the formation mechanism of these coatings.
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