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综述利用微加工技术制作微型反射镜阵列 ;简要叙述其发展历程 ,着重阐述其主要功能和优点。分类分析微镜阵列的基本工作方式和主要应用领域及其发展方向 ,并对应用前景进行分析
微光学电子机械系统中的微型反射镜阵列的应用前景
【摘 要】
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综述利用微加工技术制作微型反射镜阵列 ;简要叙述其发展历程 ,着重阐述其主要功能和优点。分类分析微镜阵列的基本工作方式和主要应用领域及其发展方向 ,并对应用前景进行分
【机 构】
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西安飞行自动控制研究所!西安710065,西安飞行自动控制研究所!西安710065
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2001年04期
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