CVT法生长GaP多晶

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhangruidao11

【摘要】

：

阐述了CVT(化学气相输运)法生长GaP的基本反应和输运速度,采用CVT法生长出了GaP多晶.设计了石英管的结构以制造出一个局部的低温区域,防止了GaP在管壁的生长.生长出的GaP多晶

【作者】

：

王向阳何莉田鸿昌东艳萍蔡以超

【机构】

：

人工晶体研究院

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2004年5期

【关键词】

：

化学气相输运法磷化镓多晶晶体生长红外窗口材料半导体材料 <Keyword>CVT( chemical vapor transport) po

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阐述了CVT(化学气相输运)法生长GaP的基本反应和输运速度,采用CVT法生长出了GaP多晶.设计了石英管的结构以制造出一个局部的低温区域,防止了GaP在管壁的生长.生长出的GaP多晶相对密度为98%,红外透过率达到30%,努普硬度为611kg/mm2.散射颗粒测试表明主要的光散射颗粒为多晶中存在的孔隙.

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