【摘 要】
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由于时栅测角系统受限于校准器的运动和装配环境,难以使用光栅作为精度基准仪器来进行密集的误差采样。为了实现较高精度的测量,通过对时栅测角系统的位移解算和对磁场式Ⅱ型
【机 构】
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重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心,重庆理工大学时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室
【基金项目】
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国家重大科研仪器研制资助项目(51827805),重庆市科技计划资助项目(cstc2017jcyjax0400,cstc2017jcyjax0392),重庆市高等学校优秀人才支持计划资助项目(201717),重庆理工大学研究生创新资助项目(ycx20192021)
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由于时栅测角系统受限于校准器的运动和装配环境,难以使用光栅作为精度基准仪器来进行密集的误差采样。为了实现较高精度的测量,通过对时栅测角系统的位移解算和对磁场式Ⅱ型时栅传感器结构进行了剖析,利用稀疏采样误差数据开展了频谱研究,得到了测角系统的补偿模型;提出了一种基于激光干涉仪的时栅测角系统误差自动稀疏采样及补偿的方法,采用了量子粒子群算法对补偿模型进行了求解,从中获取了17个补偿参数,并将其应用到补偿模型中,对测角系统进行了误差补偿。研究结果表明:在稀疏采样的条件下,采用该方法能够快速、准确地实现对时栅测角
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