【摘 要】
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日本村田制造公司研制出一种低成本薄膜温度传感器.这种温度传感器是通过把1～2微米厚的白金电阻图形印在高纯度氧化铝基片上制成的.其工作温度范围为-50℃～+600℃.允许电阻值
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日本村田制造公司研制出一种低成本薄膜温度传感器.这种温度传感器是通过把1～2微米厚的白金电阻图形印在高纯度氧化铝基片上制成的.其工作温度范围为-50℃～+600℃.允许电阻值误差为±0.06%(A级)和±0.12%(B级),电阻温度系数为为3850±5ppm/(A级)和3850±12ppm/C(B级).线性为0.6℃
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