【摘 要】
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采用微电子加工工艺在高电阻率硅片上设计和制备了微小天线,并对其进行了仿真和测试,模拟和测试结果比较吻合,测试得到天线为水平和垂直双向辐射,天线的增益约为2.5dBi,谐振
【机 构】
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华东师范大学微电子电路与系统研究所,
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采用微电子加工工艺在高电阻率硅片上设计和制备了微小天线,并对其进行了仿真和测试,模拟和测试结果比较吻合,测试得到天线为水平和垂直双向辐射,天线的增益约为2.5dBi,谐振频率约为3GHz,能够满足通讯系统中天线系统的要求,并且文章对天线的制作工艺进行了详细的介绍,此天线有利于天线集成和与CMOS工艺等的兼容.
Microelectronics processing technology is used to design and fabricate micro-antenna on high-resistivity silicon wafer. The simulation and test are carried out. The simulation and test results are in good agreement. The antenna gain is horizontal and vertical. The gain of the antenna is about 2.5dBi, the resonant frequency is about 3GHz, to meet the requirements of the antenna system in the communication system, and the article describes the manufacturing process of the antenna in detail. The antenna is conducive to antenna integration and compatibility with CMOS technology.
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