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<正>一、引言 压力是反映物质状态的重要参数之一：常用的压力传感器型式有电容式、电感式、压电式、应变式、振频
微加工硅压力传感器
【摘 要】
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<正>一、引言 压力是反映物质状态的重要参数之一：常用的压力传感器型式有电容式、电感式、压电式、应变式、振频
【机 构】
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湖南轻工业高等专科学校机电系,长沙铁道学院
【出 处】
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自动化仪表
【发表日期】
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1998年9期
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