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讨论了研制成功的用于高精度非球面检测的ＣＧＨ位相自动探测干涉系统。
高精度计算全息位相探测干涉系统的研究
【摘 要】
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讨论了研制成功的用于高精度非球面检测的ＣＧＨ位相自动探测干涉系统。
【机 构】
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天津大学
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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1997年4期
【基金项目】
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机械工业部机械工业技术发展基金
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