【摘 要】
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研究了振动轮式硅微陀螺仪敏感结构的谐振特性，重点进行了检测轴的闭环控制系统分析和测试。通过对不同气压条件下检测轴谐振特性的研究及驱动轴和检测轴谐振频率匹配的试验，分
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研究了振动轮式硅微陀螺仪敏感结构的谐振特性，重点进行了检测轴的闭环控制系统分析和测试。通过对不同气压条件下检测轴谐振特性的研究及驱动轴和检测轴谐振频率匹配的试验，分析了静电力反馈控制系统中的变刚度问题，进行了硅微陀螺仪检测轴的闭环控制系统设计，给出了检测轴闭环控制系统的原理框图和传递函数，同时分析了闭环条件下驱动轴回路和检测轴回路各部分的相位关系以及正交分量的消除方法。试验结果表明闭环控制提高了硅微陀螺仪的精度指标。
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