Pb过量对以Ti-Al为阻挡层的硅基铁电电容器极化翻转性能的影响

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：venus521

【摘要】

：

以射频磁控溅射法生长的La0.5Sr0.5CoO3（LSCO）为电极，采用溶胶一凝胶法在以Ti-Al为导电阻挡层的si基片上生长了用不同Pb过量前驱体溶液（溶胶）制备的LSCO／Pb（Zr0.4Ti0.6）O3（PZT）／LSCO电容

【作者】

：

刘卓佳刘保亭彭增伟代秀红闫会芳付跃举赵庆勋

【机构】

：

河北大学物理科学与技术学院

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2011年6期

【关键词】

：

Pb过量铁电电容器 PZT 极化翻转溶胶-凝胶 lead excess ferroelectric capacitor PZT polarization

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以射频磁控溅射法生长的La0.5Sr0.5CoO3（LSCO）为电极，采用溶胶一凝胶法在以Ti-Al为导电阻挡层的si基片上生长了用不同Pb过量前驱体溶液（溶胶）制备的LSCO／Pb（Zr0.4Ti0.6）O3（PZT）／LSCO电容器，以此构造了Pt／LSCO／PZT／LSCO／Ti-A1／Si异质结。Pb过量对LSCO／PZT／LSCO电容器极化翻转性能的影响表明：不同Pb过量溶胶对电容器的极化翻转性能影响很大，其中Pb过量15％的溶胶制备的样品在550℃常规退火1h后相对具有较好的翻转性能。在5V的

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