用增强质子背散射研究注氦纳米晶钛膜中氦的含量

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作者使用增强质子背散射方法,分析了几种Mo基体纳米钛膜中氦的保持量情况.结果表明:采用离子注入法注入的氦在纳米钛膜中能保存较长的时间,氦的释放速率受氦在钛膜及基体中的分布、钛膜中氦浓度大小的影响;Ar,He混合气体放电法工作参数的选择可影响渗氦的效率. The authors used enhanced proton backscattering methods to analyze the retention of helium in several Mo-based nanostructured titanium films. The results show that the helium injected by ion implantation can be stored for a long time in the nanostructured titanium film, and the release rate of helium By the distribution of helium in the titanium film and matrix, the concentration of helium in the titanium film size; Ar, He mixed gas discharge method of operating parameters can affect the efficiency of infiltration helium.
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