【摘 要】
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利用微弧氧化技术在钛衬底上制备了钛酸钡铁电薄膜.利用x射线（XRD）、扫描电镜（SEM）和能谱仪（EDS）等手段研究了电流密度和电解液浓度对微弧氧化薄膜的化学成分、相组成、结构和表面
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利用微弧氧化技术在钛衬底上制备了钛酸钡铁电薄膜.利用x射线（XRD）、扫描电镜（SEM）和能谱仪（EDS）等手段研究了电流密度和电解液浓度对微弧氧化薄膜的化学成分、相组成、结构和表面形貌的影响.结果表明,随着电流密度和电解液浓度的增加,BaTiO3的形成能力增强,薄膜的致密度下降,表面粗糙度增加;当Ba（OH）2浓度为0.2 mol/l,电流密度为5 A/cm^2,微弧氧化反应18 min后,可获得具有较高简单四方结构和底心正交结构BaTiO3含量的薄膜,且薄膜与衬底具有良好的结合性能.
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