双层膜结构测量CMOS器件X射线相对剂量增强因子及其理论模拟

来源 :核电子学与探测技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：baoyw00

【摘要】

：

首次在国内提出了一种双层膜结构相对测量法.用该方法测量了CMOS器件X射线的相对剂量增强因子RDEF(Relative Dose Enhancement Factor).同时用Monte-Carlo粒子输运方法计算了

【作者】

：

郭红霞龚建成陈雨生张义门周辉吴国荣林东升韩福斌

【机构】

：

西北核技术研究所,西北核技术研究所,西安电子科技大学微电子所

【出处】

：

核电子学与探测技术

【发表日期】

：

2002年1期

【关键词】

：

双层膜结构剂量增强粒子输运模拟相对增强因子相对测量法平衡剂量 CMOS器件 X射线半导体器件辐射效应 bilaminate structure d

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首次在国内提出了一种双层膜结构相对测量法.用该方法测量了CMOS器件X射线的相对剂量增强因子RDEF(Relative Dose Enhancement Factor).同时用Monte-Carlo粒子输运方法计算了实验条件下Al/Au/Si、Au/Al/Si结构界面过渡区剂量分布,理论模拟与实验验证,符合较好.

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