微电机系统润滑薄膜制备及性能研究

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润滑失效是影响微电机系统的寿命的主要因素之一,固体润滑薄膜与传统的润滑油脂相比。具可控性、润滑性良好,末端可设计型等优点,目前被广泛应用于航天航空等不同领域,特别是应用于具有不可更换性的关键部件。
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