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为了提高在激光直写设备中光刻系统的写入精度，对光探头调焦系统进行了研究。提出一种应用LabView实现伺服调焦系统的方法。其中，详细介绍了光学临界角法检焦的实现原理，分析了在检焦过程中出现的探测器暗电流过大，杂散光干扰以及对称性差等问题。最后阐述了如何利用强大的图形化编程工具LabView实现数据的分析、计算及驱动PZT（压电陶瓷）的过程。整个系统经实地验证，取得了良好的效果，精度可达到0．2μm。