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用透射电子显微镜观察了Ａｇ气相沉积在不同温度的聚乙烯醇甲醋薄膜衬底上的显微结构，发现在２１３Ｋ的ＰＶＦ衬底上沉积的Ａｇ具有分形结构，同时观察到有许多大小约为０．３μｍ的“黑点”分形结构 ，这些“黑点”是由特别致密的微晶组成的。
Ag在低温PVF衬底上气相沉积的分形结构
【摘 要】
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用透射电子显微镜观察了Ａｇ气相沉积在不同温度的聚乙烯醇甲醋薄膜衬底上的显微结构，发现在２１３Ｋ的ＰＶＦ衬底上沉积的Ａｇ具有分形结构，同时观察到有许多大小约为０．３μｍ的“黑点”分形结构 ，这些“黑
【机 构】
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浙江大学物理系!杭州,高温高密度等离子体物理实验室!成都
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1997年6期
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