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期刊论文
EM系列光刻机维修技术
EM系列光刻机维修技术
来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wang0525wz
【摘 要】
:
介绍了EM系列光刻机(俄产)的多发故障,如真空传感器及间隙设定单位故障及其维修方法,同时提出对设备的一些保养措施。
【作 者】
:
李新霞
【机 构】
:
电子部第十三所
【出 处】
:
半导体情报
【发表日期】
:
1999年3期
【关键词】
:
光刻机
维修
EM系列
故障分析
Mask alignerMulfunctionMaintenance
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介绍了EM系列光刻机(俄产)的多发故障,如真空传感器及间隙设定单位故障及其维修方法,同时提出对设备的一些保养措施。
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