真空热处理强化AlCrSiN/Mo涂层研究

来源 :天津职业技术师范大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jzymw
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采用复合脉冲磁控溅射技术沉积AlCrSiN/Mo涂层,并利用真空热处理方式改善涂层微观结构和性能.利用SEM、XRD、EDS、纳米压痕仪、划痕仪、应力测试仪、摩擦磨损试验机分别对沉积态、600℃、700 ℃、800℃、900℃真空热处理后的AlCrSiN/Mo涂层元素成分、微观结构、力学性能及摩擦磨损性能进行测试.实验结果表明:经真空热处理后,AlCrSiN/Mo涂层仍保持nc-(Al,Cr,Mo) N/a-Si3N4的纳米复合结构,并沿(200)晶面择优生长,涂层中hcp-AlN相消失;涂层表面颗粒生长更加充分,组织结构更加致密,孔隙率减少;硬度、韧性及残余应力均有所增加,临界载荷下降,耐磨性能得到一定改善.当热处理温度达到900℃时,涂层表现出最好的综合性能,硬度H高达17.60 GPa,表面质量最佳,摩擦系数和磨损率最低,分别为0.61和1.69× 10-3.μm3/(N·μm),此时H/E和H3/E*2最高.
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