【摘 要】
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气相掺杂法因其简易灵活、生产周期短、成本较低的优点成为生产区熔硅单晶重要的辅助方法。本文根据区熔（FZ）硅单晶气相掺杂原理，结合单晶生长速度、单晶直径、气体流量、气体浓
【机 构】
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北京有色金属研究总院,有研半导体材料股份有限公司,国泰半导体材料有限公司
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气相掺杂法因其简易灵活、生产周期短、成本较低的优点成为生产区熔硅单晶重要的辅助方法。本文根据区熔（FZ）硅单晶气相掺杂原理，结合单晶生长速度、单晶直径、气体流量、气体浓度、掺杂物的分凝、单晶对掺杂气体吸收率等一系列生长条件，进行理论计算并与实际生产相结合，进一步推算出掺杂量与电阻率关系的公式。通过该公式，可以更加准确控制气相掺杂硅单晶的电阻率，使理论计算与实际电阻率误差从20％降低到10％，从而降低生产成本。
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