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化学气相沉积金刚石膜技术专利分析
化学气相沉积金刚石膜技术专利分析
来源 :电镀与涂饰 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xuyingheng
【摘 要】
:
从国内外专利文献方面分析了化学气相沉积(CVD)金刚石膜技术的研究与应用发展情况。
【作 者】
:
范保虎
【机 构】
:
国家知识产权局专利局专利审查协作江苏中心
【出 处】
:
电镀与涂饰
【发表日期】
:
2016年16期
【关键词】
:
金刚石膜
化学气相沉积
专利
综述
diamond film chemical vapor deposition patent review
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从国内外专利文献方面分析了化学气相沉积(CVD)金刚石膜技术的研究与应用发展情况。
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