【摘 要】
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微模具在微纳制造领域具有广泛应用，为了实现大高宽比微模具的低成本、简单化制作，提出一种基于电场驱动微3D打印及毛细力光刻的微模具制作方法。首先打印多层大高宽比微结构母模板，再将其结构特征转移至聚二甲基硅氧烷（PDMS）凹模具，最后再经过毛细力光刻过程制作大高宽比聚合物微模具。详细阐述了大高宽比微结构母模板的打印原理及聚合物微模具的制作原理，探究了打印工艺参数对微结构母模板形貌的影响规律。使用优化的
【基金项目】
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国家自然科学基金（52175331）； 山东省高等学校青创科技支持计划（2020KJB003）； 山东省自然科学基金项目（ZR2021ME139）；
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微模具在微纳制造领域具有广泛应用，为了实现大高宽比微模具的低成本、简单化制作，提出一种基于电场驱动微3D打印及毛细力光刻的微模具制作方法。首先打印多层大高宽比微结构母模板，再将其结构特征转移至聚二甲基硅氧烷（PDMS）凹模具，最后再经过毛细力光刻过程制作大高宽比聚合物微模具。详细阐述了大高宽比微结构母模板的打印原理及聚合物微模具的制作原理，探究了打印工艺参数对微结构母模板形貌的影响规律。使用优化的打印参数制备了高宽比为5的微结构母模板，并复制出相应深宽比的PDMS凹模具。最终由PDMS凹模具复制的聚合物微模具不仅有着更大的高宽比，还可用于金属网格透明电极等元件的批量化制作。
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