【摘 要】
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为了实现大口径长焦距透镜波面精确测量，提出了一种基于朗奇光栅泰伯效应、莫尔条纹技术的子波面斜率测量方法。当子孔径光束照射在朗奇光栅上时，在光栅后周期位置出现光栅的泰
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室微系统中心
【基金项目】
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国家自然基金资助项目（10576028-A06）
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为了实现大口径长焦距透镜波面精确测量，提出了一种基于朗奇光栅泰伯效应、莫尔条纹技术的子波面斜率测量方法。当子孔径光束照射在朗奇光栅上时，在光栅后周期位置出现光栅的泰伯像，如果将另一朗奇光栅放在光栅泰伯像的位置，在这块光栅后就会形成莫尔条纹，莫尔条纹会因子孔径光束的斜率微小变化而产生移动，通过计数移动的莫尔条纹数就可以得出子孔径光束的波面斜率。文章推导了子波面斜率的计算公式并进行了理论分析，从实验上对理论分析进行了验证。这种方法能够用于大口径波面检测中子孔径波面斜率的精确测量。
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