离子轰击能量对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响

来源 :材料研究学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yueyinxiangzhu

【摘要】

：

使用超高真空离子束辅助沉积系统（IBAD）制备一系列具有纳米调制周期的ZrN/TiAlN多层膜,研究了离子辅助轰击对薄膜性能的影响.结果表明：离子辅助轰击使大部分ZrN/TiAlN多层膜的纳

【作者】

：

曹猛李强邓湘云李德军

【机构】

：

天津师范大学物理与电子信息学院

【出处】

：

材料研究学报

【发表日期】

：

2007年6期

【关键词】

：

无机非金属材料离子束辅助沉积(IBAD) ZrN/TiAlN纳米多层膜硬度辅助轰击能量 inorganic non-metallic materials

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

使用超高真空离子束辅助沉积系统（IBAD）制备一系列具有纳米调制周期的ZrN/TiAlN多层膜,研究了离子辅助轰击对薄膜性能的影响.结果表明：离子辅助轰击使大部分ZrN/TiAlN多层膜的纳米硬度和弹性模量值高于两种个体材料硬度的平均值;离子的轰击和薄膜表面原子与轰击离子之间的动量传输提高了薄膜的致密度;当轰击能量为200 eV时,多层膜的硬度最高（30.6 GPa）,弹性模量、表面粗糙度和摩擦系数等也明显改善.

其他文献

第10届超大规模集成电路技术国际会议概况

期刊

集成电路VLSI

无症状高尿酸血症对不同类型心力衰竭的影响

研究表明,长期高水平的血尿酸,通过肠道菌群失调、炎症激活、氧化应激等机制累及心血管系统,可对不同类型心力衰竭的发生、发展产生影响。现就无症状高尿酸血症与心力衰竭的

期刊

心力衰竭尿酸高尿酸血症heart failureuric acidHyperuricemia

印制电路、表面贴装及相关专业2008年第二期资格认证工作圆满完成

为了贯彻执行党中央、国务院关于“培养造就一大批具有高超技艺和精湛技能的高技能人才、稳步提升我国产业工业的整体素质”，“要切实发挥职业资格证书在引导培训、促进就业、

期刊

资格认证工作印制电路表面贴装职业资格证书激励机制高技能人才收入分配国务院

过敏性休克的药物治疗

休克作为一种全身性疾病,近年来各类型休克发病率均有升高,因其紧急性与复杂性,很可能在短时间内威胁患者生命,同时也可能是各种疾病的终末期表现。过敏性休克与感染性休克、

期刊

过敏性休克药物

实达自助终端入围工商银行

期刊

工商银行自助服务终端设备STAR8000金融行业实达公司

基于多源GNSS观测数据的三维电离层研究现状及发展

近年来,随着GNSS (global navigation satellite system)技术的发展,利用地基和空基GNSS电离层探测的空间特征,形成了更加完善的三维电离层观测系统,获得了丰富的多源GNSS电离层观测数据,促进了电离层在理论模型、经验模型及同化模型方面的进展,同时,通过结合中性大气及等离子层等方面的研究,为极端气象、太阳活动及磁暴等事件的监测与物理机制研究提供了数据基础与研究手

期刊

GNSS电离层经验模型同化模型GNSSionosphereempirical modelsassimilation models

微波磁学研究成果丰硕

期刊

电磁学微波磁学

Smt小知识：SMT—PCB的设计原则

一、SMT—PCB上元器件的布局1、当电路板放到回流焊接炉的传送带上时，元器件的长轴应该与设备的传动方向垂直，这样可以防止在焊接过程中出现元器件在板上漂移或“竖碑”的现象

期刊

PCBSMTSMT设计知识元器件焊接过程电路板

美国应用超导会议概述

期刊

超导体超导材料美国