论文部分内容阅读
综述了利用超声波作化学气相沉积过程中能源的一种新工艺,即超声波化学气相沉积(UWCVD)。该工艺与其它 CVD方法相比有以下特点:沉积膜与基体有更好的结合;沉积膜有更优的强韧性和明显的择优取向。
超声波化学气相沉积新工艺
【摘 要】
：
综述了利用超声波作化学气相沉积过程中能源的一种新工艺,即超声波化学气相沉积(UWCVD)。该工艺与其它 CVD方法相比有以下特点:沉积膜与基体有更好的结合;沉积膜有更优的强韧
【机 构】
：
华中理工大学机二系,华中理工大学机二系
【出 处】
：
材料导报
【发表日期】
：
1994年5期
其他文献
第九届国际铁电学会议(The 9th InternationalMeeting on Ferroelectricity,简记为IMF-9)于1997年8月24～29日在韩国汉城召开。受国家教委的资助和派遣,本人出席了每四年召开一
脉冲电流烧结(Pulse electric current sintering，PECS)是近十年发展起来的一种特殊的快速烧结技术。介绍了脉冲电流烧结的特征、研究现状及其在氮化铝透明陶瓷烧结中的应用。
十一月天气特点：立冬是冬季的第一个节气。进入这一时节，天地万物活动都趋向休止．准备蛰伏过冬。冬季的到来。自然界表现为阴盛阳衰，气温降低，寒气袭人，人体阳气容易受到损伤，所以要
“老师，给我换个位好吗？我不想跟xx同桌。”“老师，我和小a坐在一起，互相学习，互相帮助，她帮我补习数学，我帮她补习英语，你为什么要把我们俩分开？”“老师，给我家孩子排个好座位行吗？”
木子：有幸拜读钟源先生的诗集，令人感觉耳目一新．真没想到这位相识多年的仁兄还有这样的诗情诗才。虽然只是在人生中记录了某些片段，但从字里行间可看出作者实乃一忍者或说是韧者
每天此刻，我愿意一个人守候。晚餐。米香。一些句子。零星小雪——最小的灰白蝴蝶，飞累了，温柔落地。远方很不同吧，我不知道远方有谁有什么，好像夜晚降临整个世界。先是温柔灰色，枯
<正> 本文要对目前所出现的自动水流记录器加以讨论。这种记录器适用于田间灌溉供水量的准确测量。该设备利用了溢流水舌抛射体型(通过测流孔)与流量成正比例变化的
<正> 复合材料的研究在新加坡尚处于起步阶段,政府没有系统的研究与开发计划,也没有设立专门的研究机构,研究工作处于分散自发的状态。 在1991年制定的国家技术发展计划中,将