【摘 要】
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金刚石带锯切割机是半导体晶圆加工前道工序中重要设备,是针对单晶炉提拉成的半导体晶棒进行切断或对晶棒切片进行质量诊断分析而设计的,具有切断和切片功能。在机械设计方面
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金刚石带锯切割机是半导体晶圆加工前道工序中重要设备,是针对单晶炉提拉成的半导体晶棒进行切断或对晶棒切片进行质量诊断分析而设计的,具有切断和切片功能。在机械设计方面,采用了直线滚动导轨、交流伺服电机驱动、摆动式工作台、随动加紧台等机构,在电气控制系统方面采用了触摸屏、PLC控制、张力实时控制等技术。对金刚石带锯切割机电气进行了设计,主要内容其包括项目介绍、方案论述、传感器的选择、电气控制系统设计、软件设计等。
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