【摘 要】
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针对离轴自由曲面三镜反射系统,采用了基准传递技术和计算机辅助装调技术相结合的装调方法。基准传递过程中基于计算全息建立了一套完整、精确的空间基准来保证初装调质量;在
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术中国科学院重点实验室,中国科学院大学,
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针对离轴自由曲面三镜反射系统,采用了基准传递技术和计算机辅助装调技术相结合的装调方法。基准传递过程中基于计算全息建立了一套完整、精确的空间基准来保证初装调质量;在此基础上,计算机辅助装调过程中采用自准干涉检验法获得多个视场干涉图,像差用方形域上正交修正泽尼克多项式系数表征,利用Zemax软件和方形域上正交修正泽尼克多项式得到系统的灵敏度矩阵,求解失调量;在多次迭代后得到系统平均波像差均方根值为0.1641λ(λ=632.8nm),调制传递函数平均值为0.4534。
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