一种低温共烧AlN陶瓷基片的排胶技术

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lxfsb001
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介绍一种由高热导率AlN陶瓷和金属W共烧制备低温AlN陶瓷基片的排胶技术,研究了排胶过程中残余碳对AlN陶瓷基片相组成,烧结特性和微观结构的影响。结果表明:两步排胶法可以较好地解决W氧化及AlN陶瓷颗粒表面吸附残余碳的问题。
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