有机薄膜衬底ITO透明导电膜的制备及光电特性的研究

来源 :太阳能学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yudsly2001
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采用真空反应蒸发技术,在有机薄膜基片上制备出高质量的ITO透明导电薄膜,对薄膜的结构和光电特性进行了研究。制备的最佳薄膜在可见光范围的平均透过率达84%,电阻率为8.23×10-4Ωcm,载流子浓度为1.72×1020cm-3。 The vacuum reactive evaporation technique was used to prepare high quality ITO transparent conductive film on the organic film substrate. The structure and photoelectric properties of the film were studied. The best film prepared had an average transmittance of 84% in the visible range, a resistivity of 8.23 ​​× 10 -4 Ωcm, and a carrier concentration of 1.72 × 10 20 cm -3.
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