【摘 要】
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80 W 2537A远紫外光源是在电子束投影曝光机中做为光电子激发源。市售15—25W2537A光源,在光强和光辐照大面积均匀性等方面均不能满足要求。经对其放电参数、几何形状、灯材
【机 构】
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中国科学院电工研究所,中国科学院电工研究所,中国科学院电工研究所
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80 W 2537A远紫外光源是在电子束投影曝光机中做为光电子激发源。市售15—25W2537A光源,在光强和光辐照大面积均匀性等方面均不能满足要求。经对其放电参数、几何形状、灯材及填充气体数据分析与实验研究,设计并加工了80W大功率高亮度远紫外光
The 80 W 2537A deep UV light source is used as the source of photoelectron excitation in an electron beam projection exposure machine. Commercially available 15-25W2537A light source, in the light intensity and light irradiation large area uniformity, etc. can not meet the requirements. After its discharge parameters, geometry, lamp and filling gas data analysis and experimental research, design and processing of 80W high-power high-brightness deep ultraviolet light
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