PbZr0.52Ti0.48O3薄膜红外椭圆偏振光谱研究

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lijincai0122

【摘要】

：

用磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了PbZr0.52Ti0.48O3(PZT)薄膜.XRD结果表明经过退火后的PZT薄膜呈现多晶结构.通过红外椭圆偏振光谱仪测量了λ为2.5～12.6μm范围内PZT

【作者】

：

胡志高赵强黄志明王根水孟祥建林铁褚君浩

【机构】

：

中国科学院上海技术物理研究所

【出处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

：

2003年1期

【关键词】

：

PbZr0.52Ti0.48O3薄膜红外椭圆偏振光谱光学常数静态电荷铁电薄膜锆钛酸铅 PbZr0.52Ti0.48O3 ellipsometric

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

用磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了PbZr0.52Ti0.48O3(PZT)薄膜.XRD结果表明经过退火后的PZT薄膜呈现多晶结构.通过红外椭圆偏振光谱仪测量了λ为2.5～12.6μm范围内PZT薄膜的椭偏光谱,采用经典色散模型拟合获得PZT薄膜的红外光学常数,同时拟合得到未经处理的PZT薄膜和退火后PZT薄膜的厚度分别为454.2nm和450.3nm.最后通过拟合计算得到结晶PZT薄膜的静态电荷值为|q|=1.769±0.024.这说明在磁控溅射法制备的PZT薄膜中,电荷的转

其他文献

爱是一生的给予——浅析电影《郭明义》

“每天同样的时间，同样的声音，同样的味道，同样的路程。从家到单位，这条路说长也并不长，我却走了几十年。”伴随着沉静的画外音，影片在晨光熹微中拉开了帷幕。在全景的变换中，矿山呈

期刊

明义电影画外音影片

浅谈电视摄像师应具备的三种意识

电视是一门影像艺术，画面是构成电视节目的重要元素。摄像是电视作品制作过程中的关键，摄像师的技术技巧和创作意识很大程度上决定了电视图像质量的水平。电视摄像师的工作不只

期刊

电视摄像师创作意识影像艺术电视作品技术因素电视节目制作过程图像质量

Au／CdTe＋ZnS／HgCdTe双层介质膜MIS器件的制备及研究

通过介质膜ZnS、CdTe薄膜材料的Ar+束溅射沉积研究,结合HgCdTe器件工艺,成功制备了以ZnS、CdTe双层介质膜为绝缘层的HgCdTe MIS器件;通过对器件的C-V特性实验分析,获得了CdTe

期刊

薄膜HGCDTE红外焦平面器表面纯化MIS器件碲化镉硫化锌Cadmium compoundsPassivationSputteringSur

HgCdTe分子束外延In掺杂研究

报道了用MBE方法生长掺In的n型HgCdTe材料的研究结果.发现In 作为n型施主在HgCdTe中电学激活率接近100%,其施主电离激活能至少小于0.6meV.确认了在制备红外焦平面探测器时有

期刊

分子束外延HGCDTE掺杂铟红外焦平面阵列探测器材料MBE HgCdTe in doping

简析高层建筑超厚底板大体积混凝土施工技术

在全新的发展趋势与背景之下，城市化建设速度相当迅猛。在城市建筑中高层建筑所占据的比例越来越大，针对高层建筑施工技术进行不断深化与研究是在真正意义上保障高层建筑质量的

期刊

建筑施工技术大体积混凝土高层建筑底板建筑质量城市化建设发展趋势城市建筑

浅谈以小见大选择新闻角度

新闻角度是指新闻采写者站在不同的出发点去看待客观事物，是认识和表现采访对象的切人点。新闻角度的选择，直接关系到一篇报道的成功与否。角度不同，视点不同，结果会完全不同。角

期刊

新闻角度大选客观事物新闻采写采访对象报道角度

预防与控制医院财务风险的探析

我国经济的高速发展,也促进了医院经济体制改革不断完善,在竞争激烈的市场环境下,医院资金的管理与完善都需要进一步提高,在提高过程中,需加强医院财务管理能力,控制好财务风

期刊

财务风险控制医院预防经济体制改革财务管理能力市场环境风险问题资金

人类胃粘膜中发现的又一新型螺旋菌

自从1984年在人胃粘膜活检中成功地培养出幽门螺旋菌(Helicobacter Pylori,HPylori),重新点燃了人们对胃肠道粘膜相关螺旋菌研究的兴趣,并于1989年10月正式确立了螺旋菌这一

期刊

胃粘膜螺旋菌属尿素酶试验Spiral幽门螺旋菌慢性活动性胃炎革兰氏阴性细菌聚合酶链反应(PCR)培养鉴定胃螺旋菌

10kW全固态电视发射机的特点、故障现象及分析处理

本文对我台使用的10kW全固态电视发射机的组成、技术特点进行了简单的概述，对几年来播出过程中的故障现象进行了详细分析，并给出了处理过程，供广播电视同行们参考。

期刊

发射机组成技术特点故障现象处理过程

论会计的核算职能和监督职能

随着改革开放的深入和市场经济的发展,许多单位认识到会计工作的重要性,把会计工作与改善经营管理、建立现代企业制度等结合起来,积极采取措施改善和加强会计工作,使会计工作

期刊

会计核算职能会计工作监督职能经营管理现代企业制度会计诚信缺失市场经济改革开放

PbZr0.52Ti0.48O3薄膜红外椭圆偏振光谱研究

与本文相关的学术论文