两次线性电压扫描法测量半导体的产生参数

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:miaoyuan3660346
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采用形式简单但较为精确的Pierret的产生区宽度模型,分析了线性扫描电压作用下MOS电容器的电容一时间瞬态特性。在此基础上,建议了一种通过两次不同电压扫描率的线性电压扫描来测定半导体的体产生寿命和表面产生速度的方法。
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