【摘 要】
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<正> 英国Fluid Film Devices公司开发了一种新型的非接触式表面测量装置——气动测头,用于检测相对运动和表面形貌,其潜在精度可望达到纳米级水平。虽然气动测头的某些性能
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<正> 英国Fluid Film Devices公司开发了一种新型的非接触式表面测量装置——气动测头,用于检测相对运动和表面形貌,其潜在精度可望达到纳米级水平。虽然气动测头的某些性能还无法与触针式和电容式表面测量仪器相匹敌,但也具有许多独特的优点,如测量速度快和具有清洁能力,而且根据其特点,它还可以与其它测量系统互补使用。气动测头的设计基于气动距离测量(Pneumatic proximity gange)原理,因此算不上具有革新性的设计。但为了达到高精
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