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面向Top-Down设计流的表面微加工掩膜推导方法
面向Top-Down设计流的表面微加工掩膜推导方法
来源 :计算机辅助设计与图形学学报 | 被引量 : 6次 | 上传用户:A58400794
【摘 要】
:
针对表面硅微加工,运用层模型间几何元素运算获得粗掩膜的基本数据.采用工艺约束修演得到精掩膜,解决了多层刻蚀与可加工性问题,并进行模型重构,以校正设计模型的工艺不合理性.应用协同的方法解决了设计端模块与工艺端模块的集成问题,最终得到优化的设计模型和掩膜序列.
【作 者】
:
刘峥
江平宇
【机 构】
:
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,西安交通大学CAD/CAM研究所
【出 处】
:
计算机辅助设计与图形学学报
【发表日期】
:
2007年06期
【关键词】
:
微器件
掩膜推导
Top—Down
工艺模型
表面微加工
micro device
mask deduction
Top-Down
process mod
【基金项目】
:
国家自然科学基金(50375118).
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针对表面硅微加工,运用层模型间几何元素运算获得粗掩膜的基本数据.采用工艺约束修演得到精掩膜,解决了多层刻蚀与可加工性问题,并进行模型重构,以校正设计模型的工艺不合理性.应用协同的方法解决了设计端模块与工艺端模块的集成问题,最终得到优化的设计模型和掩膜序列.
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