【摘 要】
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介绍了Al2O3的材料性质及其原子层沉积制备方法,详细阐述了该材料的钝化机制（化学钝化和场效应钝化）,并从薄膜厚度、热稳定性及叠层钝化等角度阐释其优化方案.概述了Al2O3钝化
【机 构】
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中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室;
【基金项目】
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国家自然科学基金(批准号:61106060)资助的课题~~
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介绍了Al2O3的材料性质及其原子层沉积制备方法,详细阐述了该材料的钝化机制（化学钝化和场效应钝化）,并从薄膜厚度、热稳定性及叠层钝化等角度阐释其优化方案.概述了Al2O3钝化在晶体硅太阳电池中的应用,主要包括钝化发射极及背面局部扩散电池和钝化发射极及背表面电池.最后,对Al2O3钝化工艺的未来研究方向和大规模的工业应用进行了展望.
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