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硝磷酸腐蚀对CdTe薄膜性能及背接触层的影响

来源 :材料研究学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jiuki

【摘 要】

：

采用硝磷酸（NP）背表面刻蚀工艺并结合真空共蒸发法分别沉积了几种背接触层材料,研究了NP腐蚀对CdTe薄膜性能及背接触层的影响．结果表明：NP腐蚀后在CdTe薄膜上产生了富碲层;退火后

【作 者】

：

李卫 冯良桓 郝瑞英 陈茜 

【机 构】

：

四川大学材料科学与工程学院材料科学系

【出 处】

：

材料研究学报

【发表日期】

：

2007年2期

【关键词】

：

材料合成与加工工艺 硝磷酸(NP) 背接触 太阳电池 synthesizing and processing technics  nitric-phosphor 

【基金项目】

：

国家高技术研究与发展计划（2003AA513010）、国家自然科学基金（60506004）、四川省科技攻关基金（05GG021-0033）和辐射物理及技术教育部重点实验室（四川大学）（K200510）资助项目.

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采用硝磷酸（NP）背表面刻蚀工艺并结合真空共蒸发法分别沉积了几种背接触层材料,研究了NP腐蚀对CdTe薄膜性能及背接触层的影响．结果表明：NP腐蚀后在CdTe薄膜上产生了富碲层;退火后,碲容易与背接触材料中的铜反应生成CuxTe．通过严格控制和优化腐蚀工艺,选择ZnTe／ZnTe：Cu作为背接触层材料,可制备出优异性能的CdTe太阳电池．

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