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中国科学院光电技术研究所，是中国科学院在西南地区规模最大的研究所．2001年整体进入中国科学院知识创新工程。
URE-2000系列紫外深度光刻机
【摘 要】
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中国科学院光电技术研究所，是中国科学院在西南地区规模最大的研究所．2001年整体进入中国科学院知识创新工程。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2008年4期
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