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通过研究在镀液中添加十六烷基三甲基溴化铵（CTAB）、十二烷基硫酸钠（SDS）和吐温-80三种表面活性剂对化学镀铜沉积速率和镀液稳定性的影响，确定出三种添加剂的最优添加浓度。通过扫描电镜、能谱分析仪和X射线衍射仪，对镀层表面形貌、组成成分以及晶体结构分别进行研究。并通过线性伏安扫描法，研究了添加不同表面活性剂镀液的电化学行为。结果表明：表面活性剂可以提高化学镀铜的沉积速率和镀液稳定性。CTAB、SDS和吐温-80的最优添加浓度分别为1mg／L、20mg／L和5mg／L。加入SDS后，由于沉积速率过大，使得