一种新型双多晶自对准结构的高压功率SiGe HBT

来源 :微电子学与计算机 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shigaomin

【摘要】

：

为了改善高压功率SiGe HBT的综合性能,应用图形外延SiGe工艺,研制出了一种新型的双多晶自对准SiGe HBT器件.相对于双台面结构的SiGe HBT而言,该结构的SiGe HBT在发射极总周长

【作者】

：

徐阳张伟岳磊许军

【机构】

：

清华大学微电子学研究所

【出处】

：

微电子学与计算机

【发表日期】

：

2006年5期

【关键词】

：

SIGE HBT 图形外延自对准高压 SiGe HBT Self-aligned Patterned epitaxial growth High-vo

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为了改善高压功率SiGe HBT的综合性能,应用图形外延SiGe工艺,研制出了一种新型的双多晶自对准SiGe HBT器件.相对于双台面结构的SiGe HBT而言,该结构的SiGe HBT在发射极总周长不变的情况下,其发射结面积减少超过50%,集电结面积减少近70%,BVCBO也提高了近28%.经测试,器件的结漏电和直流增益等参数均符合设计要求.

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