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Ｔａ２Ｎ／ＴｉＷ／Ａｕ是目前国际上普遍采用的耐高温电阻／导带复合结构，对电阻温度系数（ＴＣＲ）的分析右确定溅射系统的工作点。总泄漏计算和驻贸气体分析（ＲＧＡ）可有效评价溅射气氛，提高ＴｉＷ／Ａｕ的可靠性，通过腐蚀液的比较，确定了合适的各膜层的腐蚀液。
Ta_2N-TiW-An复合导体研究
【摘 要】
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Ｔａ２Ｎ／ＴｉＷ／Ａｕ是目前国际上普遍采用的耐高温电阻／导带复合结构，对电阻温度系数（ＴＣＲ）的分析右确定溅射系统的工作点。总泄漏计算和驻贸气体分析（ＲＧＡ）可有效评价溅射气氛，提高ＴｉＷ／Ａｕ的可靠性，通过腐蚀液的比较，确
【机 构】
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西南电子设备研究所
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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2000年4期
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