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介绍了椭圆偏振法、棱镜耦合法和干涉法测量薄膜厚度和折射率的基本原理和仪器组成,并分析了它们的特点及存在问题,指出选择测量方法和仪器应注意的问题.
测量薄膜厚度及其折射率的光学方法
【摘 要】
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介绍了椭圆偏振法、棱镜耦合法和干涉法测量薄膜厚度和折射率的基本原理和仪器组成,并分析了它们的特点及存在问题,指出选择测量方法和仪器应注意的问题.
【机 构】
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华南师范大学物理系广州510631
【出 处】
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现代科学仪器
【发表日期】
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2003年4期
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