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为有效利用半导体晶圆蚀刻系统,根据蚀刻系统的特点,进行了实时调度问题域的描述,提出了基于驻留约束的实时调度算法.在此基础上,建立了以无不良品和总完工时间最小为目标的启发式实时调度算法.仿真实验结果表明,该算法是有效和实用的.
基于驻留约束的半导体晶圆蚀刻系统实时调度算法
【摘 要】
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为有效利用半导体晶圆蚀刻系统,根据蚀刻系统的特点,进行了实时调度问题域的描述,提出了基于驻留约束的实时调度算法.在此基础上,建立了以无不良品和总完工时间最小为目标的
【机 构】
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上海交通大学机械与动力工程学院
【出 处】
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上海交通大学学报
【发表日期】
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2009年11期
【基金项目】
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基金项目：国家自然科学基金资助项目（60574054,70771065）,上海市浦江人才计划资助项目（07PJ14052）
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