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研究了石英晶体谐振器的力敏特征及晶体的活力与晶片的外形结构、电极尺寸、激励电平、振动模式的关系.实验表明,沿厚度方向剪切振动的AT切石英晶体谐振器的频率力敏特性与激励电平及电极大小无关,泛音振动下的频率力敏特性的增加与泛音次数的增加不成严格的倍数关系,晶体的活力与晶体外形、谐振频率及受力无关.
AT切石英晶体频率力敏特性的实验研究
【摘 要】
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研究了石英晶体谐振器的力敏特征及晶体的活力与晶片的外形结构、电极尺寸、激励电平、振动模式的关系.实验表明,沿厚度方向剪切振动的AT切石英晶体谐振器的频率力敏特性与激
【机 构】
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清华大学物理系,北京信息工程学院传感技术研究中心
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2003年8期
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