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通过控制反应速度,以氨催化水解醇介质中的正硅酸乙酯(TEOS)制备得到了400±20 nm的单分散二氧化硅超细颗粒.反应首先在低浓度TEOS下形成并完善晶核,再在高浓度下促使晶核强制生长,最后经陈化得到粒径分布集中、单分散二氧化硅超细颗粒.以制备的SiO2作为添加剂制作Y5V特性MLCC,其性能优于进口SiO2.