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定点激光反射热循环测量铜膜应力及屈服强度
定点激光反射热循环测量铜膜应力及屈服强度
来源 :理化检验:物理分册 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pqx98
【摘 要】
:
采用定点激光反射热循环测量基片上薄膜应力的新方法,测定了硅片(100)上四种厚度(0.24μm,0.53μm,1.28μm,3.42μm)磁控溅射纯铜膜应力随温度(20~300℃的变化,发现屈服强度与膜厚倒数成线性关系。
【作 者】
:
张建民
徐可为
【机 构】
:
西安交通大学金属材料强度国家重点实验室
【出 处】
:
理化检验:物理分册
【发表日期】
:
1998年12期
【关键词】
:
铜膜
屈服
应力
激光
热循环测量法
集成电路
Thin copper films Yield stress Laser Thermal cycling
【基金项目】
:
国家自然科学基金资助项目59571031.
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采用定点激光反射热循环测量基片上薄膜应力的新方法,测定了硅片(100)上四种厚度(0.24μm,0.53μm,1.28μm,3.42μm)磁控溅射纯铜膜应力随温度(20~300℃的变化,发现屈服强度与膜厚倒数成线性关系。
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