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开口同轴探头测量技术，由于可实现非破坏性测试，一直是众多科学家及工程技术人员关注的焦点。但对于同轴探头的误差分析，研究不够深入。相位补偿技术是最常用的同轴探头去嵌入技术，该技术假设同轴探头是理想器件，忽略了同轴探头加工精度带来的误差。为此，提出了一种更为精确的去嵌入技术，即基于传输线模型的开口同轴探头去嵌入技术，通过实测得到表征同轴探头误差的校准参量，从而量化同轴探头的误差模型，以去除在测量中同轴探头带来的误差。介绍了该技术的基本原理，并与相位补偿技术进行了对比，最终通过实测验证了该技术是有效可行的。