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本文高度阐述了含氟聚合物阀门应用在半导体行业超高纯水系统和液体化学分配系统，阀门的选择、设计、生产和测试的问题。针对半导体工业发展的需求，以SEMI F57-0301为标准，对更加苛刻的应用进行了预先考虑和阐述。所阐述方法和理论同样适用于流量计，过滤器，调节阀等组件。
基于SEMI F57-0301标准下，新一代化学品输送过程中，阀门管接件及其材料的选择、设计、生产和测试
【摘 要】
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本文高度阐述了含氟聚合物阀门应用在半导体行业超高纯水系统和液体化学分配系统，阀门的选择、设计、生产和测试的问题。针对半导体工业发展的需求，以SEMI F57-0301为标准，对更
【机 构】
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SwagelokCompany
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2005年8期
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